京耀

您当前的所在位置为:首页  >  产品中心  >   反射膜厚仪  >  反射膜厚仪-MProbe Vis

反射膜厚仪-MProbe Vis

品 牌:Semiconsoft

产 地:德国

型 号:MProbe Vis

关键词标签:反射膜厚仪;膜厚测试仪;反射式膜厚仪;反射光谱干涉法;Semiconsoft;MProbe Vis
021-37018108在线留言

产品概述

       MProbe Vis薄膜测厚仪大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺

       大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被MProbe Vis测厚仪测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)。

测量范围: 15 nm -50um

波长范围: 400 nm -1100 nm

MProbe Vis薄膜测厚仪适用于实时在线测量,多层测量,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

测量指标:薄膜厚度,光学常数

界面友好强大: 一键式测量和分析。

MProbe Vis薄膜测厚仪实用的工具:曲线拟合和灵敏度分析,背景和变形校正,连接层和材料,多样品测量,动态测量和产线批量处理。

案例1,300nm二氧化硅薄膜的测量:

 

硅晶圆反射率,测量时间10ms:

 

案例2,测量500nm氮化铝,测量参数:厚度和表面粗糙度

 

 

点击了解更多产品信息

马上联系我们的应用团队:@dofollowlover.com

 

 

 

在线留言
联系我们

电话:86-021-37018108

传真:86-021-57656381

邮箱:@dofollowlover.com

地址:上海市松江区莘砖公路518号松江高科技园区28幢301室

Copyright ? 2013 京耀? 版权所有 备案号: